成果

一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法

专利(申请号):CN201510144017.9

专利类型:发明专利

技术成熟度:正在研发

所 在 地:福建厦门

最近更新:2018-09-17 10:01:17

行    业:仪器仪表-光学仪器

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一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法0
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    本发明公开了一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法,其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器,还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微动平台上,微动平台优选为压电陶瓷。该新型平面反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台,使微动平面反射镜发生位移,配合测量平面反射镜、激光源、分光镜、光电探测器,能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分,可以进一步提高激光干涉仪的测量精度。

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